标准漏孔上sccm和ml/min有什么区别?
04-29
sofirst
SCCM:Standard Cubic Centimeter per Minute,标准立方厘米 / 分钟(也叫标准毫升 / 分钟)。
mL/min:就是毫升 / 分钟(也写作 ccm、cm³/min)。
在20℃、1 atm的标准漏孔标定条件下,厂家说 1 SCCM = 1 mL/min,是因为此时的 “标准体积” 就定义在 20℃,所以数值上完全相等。
讲得更细一点:
1. 两个单位分别是什么?
SCCM(标准立方厘米 / 分钟)
S:Standard(标准状态下的体积)
CC:Cubic Centimeter(立方厘米,即毫升 mL)
M:per Minute(每分钟)
含义:气体在 ** 指定标准温度 + 1 标准大气压 (101.325 kPa)** 下,每分钟的体积流量。
mL/min(毫升 / 分钟)
2. 为什么标准漏孔上常写 “20℃”,并说 SCCM ≡ mL/min?
关键在于:标准漏孔的 “标准状态” 被厂家定义为 20℃、1 atm。
传统物理 / ISO 标况:0℃、1 atm
半导体 / 气密性行业常用:20℃、1 atm(NIST / 室温标况)
当漏孔铭牌写:
SCCM @ 20℃
意思是:
这个漏孔的泄漏量,已经折算到 20℃、1 atm 下的标准体积;
此时:1 SCCM(20℃标况)= 1 mL/min(20℃下的体积)。
厂家直接等同,是因为:
在 ** 同一温度(20℃)、同一压力(1 atm)** 下:
标准体积 = 实际体积
所以 SCCM(20℃标)= mL/min(20℃工况)
3. 换个温度就不等了(帮你建立概念)
如果按0℃标况:
但你的漏孔标定在 20℃,所以在它的世界里:
1 SCCM = 1 mL/min(数值完全一样)
